프로젝트명: 반도체 공정의 실시간 가상 계측 및 자율 제어를 위한 Q-PINN 기반 다크 팩토리 원천기술 개발

연구기간: 2026-07-01 ~ 2029-06-30

지원기관: 한국연구재단

연구 내용 요약:
- 공정 특화 PINN 기반 가상 계측 프레임워크 구축

- 불완전한 공정 역학 규명을 위한 Data-driven Physical Model Identification
- Quantum-Informed & Accelerated Digital Twin 원천 기술 개발

- 공정 상태 변화와 단계 전이를 고려한 in-run 적응형 식각 공정 자율 제어